12月30日，上海市經濟和信息化委員會印發了《上海市電子信息產業發展“十四五”規劃》（以下簡稱《規劃》）。 《規劃》指出，“十三五”期間，聚焦產業創新策源能力培育，集成電路、智能傳感器兩個國家級制造業創新中心落戶上海cod快速消解儀，部分領域形成國際競爭力。關鍵技術和裝備方面，集成電路14納米先進工藝實現規模量產，5納米刻蝕機、12英寸大硅片、CPU、5G芯片等技術產品打破壟斷，有機發光顯示技術、新能源與智能網聯汽車關鍵技術等完善技術布局、形成特色優勢。 《規劃》提出，到2025年，初步建成具有全球影響力和競爭力的世界級電子信息產業集群的發展目標。 《規劃》在重點領域中的電子信息制造部分提出cod快速消解儀，一是以集成電路為核心先導，特別提到要突破光刻設備、刻蝕設備、薄膜設備、離子注入設備、濕法設備、量測檢測設備等集成電路前道核心工藝設備。提升12英寸硅片、高端掩膜版、光刻膠、濕化學品、